由于金屬硅微粉在凝固的時候，由于定向凝固的作用，金屬雜質(zhì)大多在晶界表面，所以在破碎的過程中，顆粒表面的雜質(zhì)的數(shù)量相對與顆粒內(nèi)部來說，還是比較多的。因此，浸入化學(xué)藥劑是冶金法交晶硅的一個有價值的中間工藝。這種方法也稱為濕法治金，目前采用物理法提純多晶硅的公司中，使用此方法的不少。只不過，各家在藥劑的選取、處理的工藝和手段都各不相同。但濕法冶金的工藝出來的硅微料是粉狀的，粉料到了真空爐進(jìn)行真空熔煉的時候，對真空爐內(nèi)的熱場材料和真空系統(tǒng)的損害比較大，這是濕法治金的一個弱點(diǎn)。通常，濕法冶金如果工藝正確的話，與爐外精煉所得到的硅料的純度接近。由于耗電小，不需要高溫工藝，因此，許多公司用濕法冶金代替爐外精煉作為金屬硅后和真空熔煉前的中間工藝。