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超純硅微粉里的硼和磷

發(fā)布時(shí)間:2022-05-23 14:51:30人氣:

磷和硼在硅微粉里是比較突出的雜質(zhì)組成部分,比例恰當(dāng)可以充分發(fā)揮最大導(dǎo)電性,同時(shí)雜質(zhì)配比過多則會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)型現(xiàn)象,導(dǎo)致電阻率下降。將純硅微粉里摻硼的P型料,和純硅摻雜球的N型科共同放在一個(gè)坩堝里進(jìn)行熔化拉單晶,假設(shè)P型科中的硼與N型料中的磷的原子密度相近,由于硼的分凝系數(shù)為0.8,接近于1,因而硼的分布在單晶棒的頭部和尾部會(huì)比較均勻,而磷的分凝系致為0.36,所以,在單晶棒的頭部會(huì)較少,而尾部濃度較大,因此,就整個(gè)單晶棒來說,頭部由于硼多于磷,將呈P型,尾都由于磷多于硼,呈N型:而電阻率從頭部開始,會(huì)表現(xiàn)出由小到大,到很大,再逐步減小的“人”字形分布。假如用PN型號測試儀測試,會(huì)發(fā)現(xiàn)電陽率最大的地方,就是發(fā)生從P型到N型的“轉(zhuǎn)型”的地方。

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