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硅微粉中的氮元素

發(fā)布時(shí)間:2022-05-25 15:11:17人氣:

硅微粉中的氮元素的存在,好像是好處多于壞處。氮能夠增加硅材料的機(jī)械強(qiáng)度,抑制微缺陷,促進(jìn)氧沉淀。浙江大學(xué)國家硅材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的闕端麟先生首創(chuàng)氨氣氛下拉單晶,就是利用氮的這些優(yōu)點(diǎn)的。但是,在物理法多晶硅微粉的生產(chǎn)過程中,由于不少是采用氮?dú)獗Wo(hù),而且坩堝涂層里面的氮化硅在高溫下也會(huì)部分與硅反應(yīng),或者氮化硅顆粒直接進(jìn)入硅液中,將導(dǎo)致細(xì)晶的產(chǎn)生,增加晶界數(shù)量,最終影響太陽能電池的性能。在多晶硅的結(jié)晶過程中,氮還可以與氧作用,形成氮氧復(fù)合體,影響材料的電學(xué)性能。但由于氮?dú)鋸?fù)合體是淺能級(jí),而且氮的固溶度很低,因此,對(duì)材料的影響不是很大??傮w說來,如果C、0、N等元素的雜質(zhì)濃度能夠小于10^20ppm, 那么,對(duì)作為太陽能用途的硅材料來說:就沒有什么副作用了。主要還是由于這些元素的性質(zhì)比較活躍,容易形成化合物,之后被從硅材料中帶出的緣故。

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